特許
J-GLOBAL ID：200903044222208710
電子ビーム真空容器
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石川 新
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-176485
公開番号（公開出願番号）：特開平10-021862
出願日： 1996年07月05日
公開日（公表日）： 1998年01月23日
要約：
【要約】【課題】 より安価で高効率照射がえらえる電子ビーム真空容器をえる。【解決手段】 内側に対向し段差開口を持ちかつ同段差開口の外側を通るガスケット溝を持つフランジ端を有する電子ビームの真空容器本体、段差開口の前面に後面が接するように配置され内面に対向し所定の間隔であけられた穴を持つ角棒状の桟枠、桟枠の穴に両端が嵌込まれた桟棒、ガスケット溝に配置されるガスケット、外周部が上記フランジ端の前面に配置される薄膜、フランジ端前面を押えるフランジリングを設ける。
請求項（抜粋）：
内側に対向する段差開口を持ちかつ同段差開口の外側を通るガスケット溝を持つフランジ端を有する電子ビームの真空容器本体と、上記段差開口の前面に後面が接するように配置され内面に対向し所定の間隔であけられた穴を持つ角棒状の桟枠と、上記桟枠の穴に両端が嵌込まれた桟棒と、上記ガスケット溝に配置されるガスケットと、外周部が上記フランジ端の前面に配置される薄膜と、上記フランジ端前面を押えるフランジリングとを備えてなることを特徴とする電子ビーム真空容器。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
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