特許
J-GLOBAL ID:200903044227317119

流量計

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 藤島 洋一郎
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-302815
公開番号(公開出願番号):特開平8-136295
出願日: 1994年11月11日
公開日(公表日): 1996年05月31日
要約:
【要約】【目的】 フルイディック素子を用いた流量計において、外乱による圧力変動がある状態でも正確に流量を計測できるようにする。【構成】 補正処理部55は、流量演算部45が第1の圧電膜センサ35によって検出されるフルイディック発振のパルスに基づいて流量を算出しているときに、ノズルの通路内に設けられたフローセンサ30の出力を用いて圧力変動の周波数を求め、この圧力変動の周波数とフルイディック発振の周波数とを比較して外乱によってフルイディック発振の周波数が変化しているか否かを判断する。変化していると判断したときは第2の圧電膜センサ53によって検出されるノズルの上流側と下流側との間の差圧に基づいて流量を算出し、フルイディック発振のパルスに基づく流量と置き換える。
請求項(抜粋):
流体の入口部から出口部に到る流路を形成する流量計本体と、この流量計本体内に設けられ、流体を噴出するノズルを含み、このノズルから噴出される流体によるフルイディック発振を生成するフルイディック発振生成部と、このフルイディック発振生成部によって生成されるフルイディック発振を検出するフルイディック発振検出センサと、前記ノズルを通過する流体の流速を検出する流速センサと、前記ノズルの上流側と下流側との間の差圧を検出する差圧センサと、流量に応じて、前記フルイディック発振検出センサの出力と前記流速センサの出力の一方に基づいて流量を算出する流量演算手段と、この流量演算手段がフルイディック発振検出センサの出力に基づいて流量を算出しているときに、前記流速センサの出力を用いて圧力変動の周波数を求め、この圧力変動の周波数とフルイディック発振の周波数とを比較して外乱によってフルイディック発振の周波数が変化しているか否かを判断し、変化していると判断したときは前記差圧センサの出力に基づいて流量を算出し、前記フルイディック発振検出センサの出力に基づく流量と置き換える補正処理手段とを具備することを特徴とする流量計。

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