特許
J-GLOBAL ID：200903044227768854
異方性黒鉛薄膜基板、並びにそれを用いた応用装置及び応用素子
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
滝本 智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-302574
公開番号（公開出願番号）：特開平9-142820
出願日： 1995年11月21日
公開日（公表日）： 1997年06月03日
要約：
【要約】【課題】 熱伝導性に優れたカーボンフィルムを提供し、これを用いた真空装置、成膜装置、光学装置、均熱容器等を提供する事を目的とする。【解決手段】 高分子フィルムを出発原料として不活性ガス雰囲気中で焼成し、C面が屈曲3することによりC面間に形成される空孔部4により柔軟性を有する異方性黒鉛薄膜基板と、それを用いた応用装置と応用素子。
請求項（抜粋）：
高分子フィルムを出発原料として不活性ガス雰囲気中で焼成し、C面が屈曲することによりC面間に形成される空孔部により柔軟性を有する異方性黒鉛薄膜基板。
IPC (8件)：
C01B 31/04 101
, A47J 27/00 101
, A47J 36/04
, B01J 3/00
, F28F 21/02
, H01L 21/205
, H01L 21/285
, H01L 21/31
C01B 31/04 101 Z
, A47J 27/00 101 Z
, A47J 36/04
, B01J 3/00 M
, B01J 3/00 N
, B01J 3/00 K
, F28F 21/02
, H01L 21/205
, H01L 21/285 S
, H01L 21/31 B
