混合積層化超格子材料を有する集積回路およびその作成プロセスに使用するための前駆体溶液

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：山本秀策
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-528508
公開番号（公開出願番号）：特表平11-509683
出願日： 1996年03月14日
公開日（公表日）： 1999年08月24日
要約：

【要約】金属アルコキシカルボキシレート系液状前駆体溶液を用いて、超格子生成層(116)と順序整合された別々の酸素八面体層(124および128)を有するタイプの、混合積層化超格子材料(112)を有する電子素子(100)を形成する。前駆体溶液は、積層された超格子材料を生じるために効果的な量の複数の金属モイエティーを、含む。これらの金属モイエティーは、A/B層(124)を形成し得るA/B部分、ペロブスカイト型AB八面体層(128)を形成し得るペロブスカイト型AB層部分、および超格子生成層(116)を形成し得る超格子生成部分を含むように、混合される。前駆体は、液状形態で基板上に堆積され、アニールされて積層化超格子材料を提供する。

請求項（抜粋）：

第1の電極と該第2の電極との間に挟持された積層化超格子材料(112)と電気的に接触する該第1の電極(110)および該第2の電極(114)を有する、薄膜電子素子(100)であって、該素子は、該材料が複数の層(116、124、128)を順に有しており、該順は、A-サイト金属、B-サイト金属、およびその混合物からなる群より選択される金属の酸化物から形成される、A/Bイオン性サブユニットセル(146)を有するA/B層(124)と;超格子生成イオン性サブユニットセルを有する超格子生成層(116)と;A-サイト金属およびB-サイト金属の両方を含有するペロブスカイト型AB層(128)であって、該AB層は該A/B層の格子とは異なるペロブスカイト型酸素八面体格子を有するペロブスカイト型AB層と、を含んでいることを特徴とする、薄膜電子素子。

IPC (4件)：

H01L 27/10 451 , C04B 35/622 , H01L 21/8242 , H01L 27/108

FI (2件)：

H01L 27/10 451 , H01L 27/10 651

引用特許：

出願人引用 (5件)

特表平7-502150
特表平7-502149
特開平4-295013

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