特許
J-GLOBAL ID：200903044249462244
一次元走査型表面変位計
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-241105
公開番号（公開出願番号）：特開平6-026842
出願日： 1991年09月20日
公開日（公表日）： 1994年02月04日
要約：
【要約】【目的】 回転鏡及び投光レンズによって光ビームが試料の表面を移動するように走査し、その際に照射光の移動に伴って移動する散乱光を集光レンズによって位置検出素子の受光部に結像することで、一次元的な表面変位の測定を高速に行うことができるようにする。【構成】 半導体レーザ7からのレーザービームを回転に応じた出射角度で反射させる回転鏡9、この回転平面鏡9からのレーザービームを試料に対して垂直に照射する投光レンズ10、この投光レンズ10からの投下光11に対する試料6の表面からの散乱光12を回転平面鏡9方向へ反射させる反射鏡13、この反射鏡13からの散乱光を位置検出素子16へ結像させる集光レンズ14、この集光レンズ14によって反射した集光レンズ14からのレーザービームを検出し、そのスポット位置から変位状態を測定する位置検出素子16の各々を備えて構成する。
請求項（抜粋）：
光ビームを回転に応じた出射角度で反射させる回転鏡と、該回転鏡からの光ビームを試料へ照射する走査用レンズと、該レンズからの照射光に対する試料表面からの散乱光または正反射光を前記回転鏡方向へ反射させる反射部材と、前記走査用レンズと同一の焦点距離を有すると共に前記反射部材からの散乱光または正反射光を前記回転鏡面上の同一点へ結像させる集光レンズと、該集光レンズからの入射光に対する前記回転平面鏡よりの出射光を検出する位置検出手段とを具備することを特徴とする一次元走査型表面変位計。
IPC (2件)：
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