特許
J-GLOBAL ID：200903044250951941
露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-228721
公開番号（公開出願番号）：特開平7-086139
出願日： 1993年09月14日
公開日（公表日）： 1995年03月31日
要約：
【要約】【目的】 簡単な構成で倍率補正を実行できる露光装置を提供すること。【構成】 第1の物体(2) と第2の物体(6) とを走査させつつ投影光学系を介して第1の物体の像を第2の物体上に投影露光する露光装置は、第1の物体と第2の物体との少なくとも走査直交方向で曲率を持つように撓ませる手段(13)を有する。そして、投影光学系は、第1の物体の正立像を形成する複数の正立光学系 (3a〜3e) を有する。
請求項（抜粋）：
第1の物体と第2の物体とを移動させつつ、投影光学系を介して前記第1の物体の像を前記第2の物体上に投影露光する露光装置において、前記第1の物体と前記第2の物体との少なくとも一方を前記移動する方向と実質的に直交する方向で曲率を持つように撓ませる手段を有し、前記投影光学系は、前記第1の物体の正立像を形成する複数の正立光学系を有することを特徴とする露光装置。
IPC (2件)：
FI (6件)：
H01L 21/30 516 A
, H01L 21/30 512
, H01L 21/30 514 D
, H01L 21/30 515 D
, H01L 21/30 518
, H01L 21/30 526 B
