特許
J-GLOBAL ID：200903044257071947
電子ビーム照射装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
則近 憲佑
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-124147
公開番号（公開出願番号）：特開平8-313700
出願日： 1995年05月24日
公開日（公表日）： 1996年11月29日
要約：
【要約】【目的】 運転中においても照射窓6の寿命診断ができ、照射窓6が破損しない許容範囲内で、その運転継続することができる電子ビーム照射装置を得ることである。【構成】 照射窓6の状態を検出する状態検出器11と、状態検出器11で検出した照射窓6の状態に基づいて照射窓6の寿命を診断する状態データ処理回路12と、必要に応じて照射窓6より透過した電子ビーム7の照射量と分布とのうち、いずれか一方又は双方に基づき、制御温度範囲内で最大電子ビームを照射するように電子銃制御回路1にフィードバック信号を出力し、照射範囲を調整する電磁石4にフィードバック信号を出力するフィードバック回路13とを備えている。
請求項（抜粋）：
電子銃制御回路で照射量が調整され電子銃から発生された電子ビームを加速管で加速して、その加速した電子ビームの照射範囲を電磁石で調整し、走査管及び照射窓を介して被照射体に前記電子ビームを照射するようにした電子ビーム照射装置において、前記照射窓の状態を検出する状態検出器と、前記状態検出器で検出した前記照射窓の状態に基づいて前記照射窓の寿命を診断する状態データ処理回路とを備えたことを特徴とする電子ビーム照射装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G21K 5/04 E
, G21K 5/00 W
