特許
J-GLOBAL ID：200903044266529611
インクジェット記録ヘッド及びその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
丹羽 宏之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-364378
公開番号（公開出願番号）：特開2001-179990
出願日： 1999年12月22日
公開日（公表日）： 2001年07月03日
要約：
【要約】【課題】 従来のインクジェット記録ヘッドの製造方法においては、インク吐出口(ノズル)のパターン露光における微細なスカム(現像残渣)が生成されるため、吐出特性が低下し、近年のプリンタに要求される益々の高画質化、高精細化に追随できないため、スカムの生成をなくする製造方法を提供する。【解決手段】 このため、吐出圧発生素子2と、少くとも流路となる部分4を占有する固体層5とが設けられた基板1上に、光酸発生触媒により硬化されるノズル形成部材を被覆し、露光現像により、吐出口8を形成し、固体層5を除去することによりノズル8を形成する工程、及び吐出エネルギー発生素子2形成工程を包含する液体噴射記録ヘッドの製造方法において、前記固体層5に、アミン代表される求核性の強い塩基性物質を含むか、またはコーティングするようにした。
請求項（抜粋）：
インク吐出圧力発生素子と、少なくとも液路となる部分を占有する固体層とが設けられた基体上に、光酸発生触媒により硬化されるノズル形成材料を被覆し、ノズル形成部材に吐出口を形成し、前記固体層を除去することによりノズルを形成する工程を包含する液体噴射記録ヘッドの製造方法において、前記固体層に、塩基性物質が含まれることを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B41J 3/04 103 H
, B41J 3/04 103 B
2C057AF23
, 2C057AF93
, 2C057AG46
, 2C057AP02
, 2C057AP12
, 2C057AP13
, 2C057AP22
, 2C057AP31
, 2C057AP37
, 2C057AP47
, 2C057AP57
, 2C057AQ03
, 2C057BA04
, 2C057BA13
