特許
J-GLOBAL ID:200903044274387044
CTセンサーの形成方法及びそのCTセンサー
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
三好 秀和 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-305228
公開番号(公開出願番号):特開平6-160538
出願日: 1992年11月16日
公開日(公表日): 1994年06月07日
要約:
【要約】【目的】 スペーサの厚みを一定にし、隣接するダイオードへの光の入射を阻止し、シンチレータに対応するフォトダイオードにシンチレータからの光を正しく入射させ得るシンチレータ素子体を有するCT用固体センサーの提供。【構成】 基盤21上に形成されたフォトダイオード層22とシンチレータブロック25からなるシンチレータ層を接合し(図2(a))、シンチレータ層の上面からフォトダイオード層22の上面に至る間をダイヤモンドカッター29により切断方向に平行に切断してフォトダイオード層22の上面に至る複数の溝27を形成し(図2(b))、微細状の光反射材を混入した光硬化樹脂を主成分とする流動性充填物を溝に充填し、シンチレータ層に光線を照射し、充填物の光硬化樹脂を硬化させて溝を反射層28とする(図2(c))。
請求項(抜粋):
基盤上に形成されたフォトダイオード層とシンチレータ層を接合し、前記シンチレータ層の上面から前記フォトダイオード層の上面に至る間を溝切り装置により切断方向に平行且つ等間隔に切断して前記フォトダイオード層の上面に至る複数の溝を形成し、微細状の光反射材を混入した光硬化樹脂を主成分とする流動性充填物を前記溝に充填し、光線を照射して前記充填物の光硬化樹脂を硬化させて前記溝を反射層とすることを特徴とするCTセンサーを形成する方法。
IPC (3件):
G01T 1/20
, A61B 6/03 320
, H01L 31/09
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