特許

J-GLOBAL ID：200903044281989564

半導体加速度センサ

発明者： 近藤 宗成 ,  今井 正人
出願人/特許権者： 日本電装株式会社
代理人 (1件)： 藤谷 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-269728
公開番号（公開出願番号）：特開平6-094745
出願日： 1992年09月10日
公開日（公表日）： 1994年04月08日
要約：

【要約】【目的】 センサチップのカンチレバー下側の気泡の除去が容易で安定した出力特性を有する半導体加速度センサを提供すること。【構成】 センサチップ27のカンチレバー28は、シリコン台座25に設けられた切欠部25aに対向して接合されている。カンチレバー28の変位によりピエゾ抵抗層29が変化することによるブリッジ回路における不平衡電圧に基づいて加速度が検出される。カンチレバー28の下側に巻き込まれた気泡は、その浮力又はカンチレバーなどの微振動にて上記台座の切欠部の周囲の除去された部分を通って製造工程途中で自然に取り除かれる。このように、本発明に係る半導体加速度センサは、気泡の除去工程が必要なくなった分だけその製造工程が簡素化されると共に出荷後においてもカンチレバーの周囲に気泡が存在することがないため安定した出力特性を有したものとなる。

請求項（抜粋）：

基台と蓋材とを接合し、その間にピエゾ抵抗を有するカンチレバーが形成されたセンサチップを接合した台座を配設すると共にダンピング液を気密封止して成る半導体加速度センサにおいて、前記台座は前記センサチップのカンチレバーと対向する面を切欠部として取り除くと共に該切欠部の周囲の一部分を取り除いたことを特徴とする半導体加速度センサ。