特許
J-GLOBAL ID：200903044286018095
超音波砥粒研磨装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 辰彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-306144
公開番号（公開出願番号）：特開平7-156045
出願日： 1993年12月07日
公開日（公表日）： 1995年06月20日
要約：
【要約】【目的】砥粒が分散された研磨液が収容される槽を安価に修理できるとともに、砥粒が沈殿しない超音波砥粒研磨装置を提供する。【構成】超音波砥粒研磨装置1は、底部に超音波振動子2が取着され脱気された超音波伝達液3を収容する超音波伝達槽4内に、砥粒5が分散された研磨液6を収容する砥粒研磨槽7を超音波伝達液3に浸漬させて設ける。研磨液供給手段8と研磨液排出手段10とを設け、研磨液供給手段8に研磨液6の溶存気体を除去する脱気手段13を設る。研磨液供給手段8に研磨液攪拌手段16を設ける。研磨液排出手段8と研磨液供給手段10とを接続し、研磨液6を循環させる研磨液循環手段を設ける。研磨液6を循環させるときには、前記研磨液循環手段に異物除去手段17を設ける。
請求項（抜粋）：
砥粒が分散された研磨液に超音波を放射して、該砥粒により該研磨液に浸漬されたワークの表面を研磨する超音波砥粒研磨装置であって、底部に超音波振動子が取着され脱気された超音波伝達液を収容する超音波伝達槽内に、砥粒が分散された研磨液を収容する砥粒研磨槽を該超音波伝達液に浸漬させて設け、該砥粒研磨槽に砥粒が分散された研磨液を供給する研磨液供給手段と、該砥粒研磨槽から砥粒が分散された研磨液を排出する研磨液排出手段とを設け、該研磨液供給手段に該研磨液に溶存する気体を除去する脱気手段を設けてなることを特徴とする超音波砥粒研磨装置。
IPC (3件)：
B24B 1/04
, B08B 3/12
, B08B 9/38
