特許
J-GLOBAL ID：200903044286743920
X線検査装置及びX線検査方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
滝本 智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-029899
公開番号（公開出願番号）：特開平10-227749
出願日： 1997年02月14日
公開日（公表日）： 1998年08月25日
要約：
【要約】【課題】 ベアチップ実装における接合部分の検査に、反射X線を用いた分析を適用するに好適な構成を実現し、基板の材質や両面実装の有無等に影響されない実用的なX線検査装置及びX線検査方法を提供することを目的とする。【解決手段】 第1、第2の部材1,3との間に位置し、X線に対して吸収が相対的に大きい高吸収部を有する検査対象物2からの反射X線を用い、第1部材1を介して検査対象物にX線を照射し、再び第1部材1を介して検査対象物からの反射X線を検出するX線検査装置、又は同様な検査対象物からの反射X線を用い、高吸収部を避けるようにして低吸収部にX線を入射し、反射X線を高吸収部を避けるように検出するX線検査方法である。
請求項（抜粋）：
第1の部材と第2の部材との間に位置し、X線に対して吸収が相対的に大きい高吸収部とX線に対して吸収が相対的に低い低吸収部とを有する検査対象物からの反射X線を用いて前記検査対象物を検査するX線検査装置であって、X線を出射するX線光源と、前記X線光源から出射したX線が入射する第1のX線光学系と、前記検査対象物からの反射X線が入射する第2のX線光学系と、前記第2のX線光学系から出射したX線を受光するX線検出器とを備え、前記第1のX線光学系を出射したX線は前記第1の部材を透過して前記検査対象物に入射し、前記検査対象物からの反射X線は前記第1の部材を透過して前記第2のX線光学系に入射するX線検査装置。
IPC (5件)：
G01N 23/203
, G01N 23/04
, G01N 23/223
, H01L 21/52
, H05K 13/08
G01N 23/203
, G01N 23/04
, G01N 23/223
, H01L 21/52 F
, H05K 13/08 T
