特許
J-GLOBAL ID:200903044287302390
光学的測定方法およびその測定装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
松隈 秀盛
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-014260
公開番号(公開出願番号):特開平11-211660
出願日: 1998年01月27日
公開日(公表日): 1999年08月06日
要約:
【要約】【課題】 複数の光反射層を有する光記録媒体に対する各光反射層の特性検出を互いに独立して確実に測定することができるようにする。【解決手段】 集光レンズ39を介して、この集光レンズ39に対して離軸してレーザービームを入射させて、被測定光記録媒体30に照射し、その測定対象の光反射層からの反射レーザービームを、他の反射レーザービームと完全に分離して検出器に入射させた構成とする。
請求項(抜粋):
円偏光のレーザービームを離軸させて集光レンズに入射し、該集光レンズの焦点近傍に複数の光反射層を有する光学記録媒体を配置し、前記複数の光反射層で反射した光を、再度前記集光レンズに入射して屈折させ、光軸を中心にして回転可能な検光子に透過させた後に、前記複数の光反射層から反射した光のうち測定対象の一つの光反射層からの光のみを対応する光強度検出器に導き、前記検光子の回転角と検出された光強度の関係から偏光の楕円率を求め、前記光学記録媒体の表面から前記測定対象の光反射層までの複屈折の大きさを測定する光学的測定方法であって、集光レンズに入射するレーザービームの離軸量h0 と、集光レンズに入射するレーザービームのビーム径φ0 と、集光レンズの焦点距離fと、光学記録媒体の基材の屈折率nと、集光レンズの焦点位置から測定対象とする光反射層までの最大許容距離sと、集光レンズの光軸に対して垂直な面に対する測定対象とする光反射層の最大許容傾き角αと、測定対象の光反射層より1層だけ集光レンズ側にある光反射層までの厚さt-1と、測定対象の光反射層より1層だけ集光レンズ側とは反対側にある光反射層までの厚さt1 と、集光レンズから光強度検出器までの距離Lとが、測定対象の光反射層の片側のみに他の光反射層がある場合は、のいずれかの式を満たすようにし、測定対象の光反射層の両側に他の光反射層がある場合には、前記両式を同時に満たすようにして、前記複数の光反射層から反射した光のうち、測定対象の一つの光反射層から反射した光を他の光反射層から反射した光と完全に分離して前記対応する光強度検出器に導き、前記測定対象の光反射層までの複屈折の大きさを独立して測定することを特徴とする光学的測定方法。
IPC (3件):
G01N 21/55
, G01B 11/30
, G01N 21/23
FI (3件):
G01N 21/55
, G01B 11/30 D
, G01N 21/23
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