特許

J-GLOBAL ID：200903044288624316

X線分析装置

発明者： 徐 章 程
出願人/特許権者： 日本電子株式会社 ,  日本電子エンジニアリング株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-388664
公開番号（公開出願番号）：特開2002-189004
出願日： 2000年12月21日
公開日（公表日）： 2002年07月05日
要約：

【要約】【課題】 感度を向上させたX線分析装置を提供する。【解決手段】 試料2と平板型分光結晶4A′の間にX線レンズ10を配設する。この際、X線レンズ10は、その前焦点O1が試料2の表面に位置し、その後焦点O2がX線レンズ10と平板分光結晶4A′の間に位置するように配置する。X線源1からのX線がコリメーターにより細いビームに絞られ、試料2上の微小箇所(O1点)に照射され、照射箇所O1点から蛍光X線が発生する。X線は立体角度ΔφでX線レンズ10で収集され、X線レンズ10の後焦点O2に集光され、発散角度Δθ2で平板型分光結晶4A′に入射する。分光結晶で分光された各X線はPSPC5′に入射する。

請求項（抜粋）：

励起線を試料に照射し、該試料から発生したX線を分光結晶に入射させ、該分光結晶で分光された各波長のX線をX線検出器に導き、該検出器の検出信号に基づいて試料の分析を行うように成したX線分析装置において、試料と分光結晶の間にX線レンズを配置したX線分析装置。

IPC (4件)：

G01N 23/225 ,  G01N 23/223 ,  G21K 1/06 ,  H01J 37/252

FI (6件)：

G01N 23/225 ,  G01N 23/223 ,  G21K 1/06 B ,  G21K 1/06 G ,  H01J 37/252 A ,  H01J 37/252 B

Fターム (17件)：

2G001AA01 ,  2G001AA03 ,  2G001AA05 ,  2G001BA04 ,  2G001BA05 ,  2G001CA01 ,  2G001DA01 ,  2G001GA01 ,  2G001GA13 ,  2G001JA04 ,  2G001KA01 ,  2G001SA01 ,  2G001SA02 ,  2G001SA04 ,  2G001SA30 ,  5C033PP04 ,  5C033QQ15