特許
J-GLOBAL ID：200903044302126154
光導波路およびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-181165
公開番号（公開出願番号）：特開平7-035934
出願日： 1993年07月22日
公開日（公表日）： 1995年02月07日
要約：
【要約】【目的】 入射光と検出光とを基板上の同じ光導波路層に導波させながら、低損失、高効率に入射光と検出光とを分離することが可能な、高機能でコンパクトな光導波路及びその製造方法を提出することを目的としている。【構成】 石英ガラス基板1上の一部分に、ステップ状の端部をもつ金属層2を有し、その上部を含む全面に低屈折率層3を有し、さらにその上に光導波層4a及び4bの膜厚の40から50%の段差を有する高屈折率の光導波層4a及び4bをオーバーコートした構造を有することを特徴とする。
請求項（抜粋）：
ガラス基板上の一部分に、ステップ状の端部をもつ金属層を有し、さらにその上部を含む全面に低屈折率層を有する光導波路において、その上に段差を有する高屈折率の光導波層をオーバーコートした構造を有することを特徴とする光導波路。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G02B 6/12 A
, G02B 6/12 M
