特許

J-GLOBAL ID：200903044304763291

薄膜形成原料輸送方法及び薄膜形成原料輸送装置

発明者： 室山 雅和
出願人/特許権者： ソニー株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-133890
公開番号（公開出願番号）：特開平9-321035
出願日： 1996年05月28日
公開日（公表日）： 1997年12月12日
要約：

【要約】【課題】 薄膜形成工程において、簡便な手法で薄膜形成材料を安定に輸送する。【解決手段】 薄膜形成原料輸送装置10は、2重管状の輸送用配管11を備えている。輸送用配管11の内管13内を薄膜形成原料であるTEOSが流れ、外管12内には熱媒体であるエタノールが入っている。外管12のさらに外周には、ヒーター14が設けられている。薄膜形成原料と比較して熱容量が大きい熱媒体を用いて薄膜形成原料を間接加熱し、熱媒体の熱容量を温度変動に対するバッファーとする。

請求項（抜粋）：

薄膜形成原料を一定温度に保ちながら配管を通して輸送する方法であって;該配管を熱容量の大きい熱媒体を用いて加熱又は冷却することを特徴とする薄膜形成原料輸送方法。

IPC (3件)：

H01L 21/31 ,  C23C 16/44 ,  H01L 21/205

FI (3件)：

H01L 21/31 B ,  C23C 16/44 D ,  H01L 21/205