特許

J-GLOBAL ID：200903044307838101

拡大した流量測定範囲を有する質量流量トランスデューサ

発明者： ルーカス,ポール・ディー
出願人/特許権者： エムケイエス・インストゥルメンツ・インコーポレーテッド
代理人 (1件)： 社本 一夫 (外5名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-536317
公開番号（公開出願番号）：特表2000-507706
出願日： 1997年04月03日
公開日（公表日）： 2000年06月20日
要約：

【要約】一次的流体流路(14)と、該一次的流路と平行で且つ該流路と流体連通した多数の二次的流路(16)との内部に単一の層状流要素(24)を有する多数通路の質量流量トランスデューサ(10)である。二次的流路内を流動する流体の温度の関数として一次的流路内の対応する流量を測定し得るように電気回路(18)が多数の二次的流路の各々に結合されている。二次的流路の各々に結合された回路(18)は、対応する二次的流路内の流体と熱連通した少なくとも1つの温度応答型要素(20)を備えている。

請求項（抜粋）：

一次的流体流路内の流体の流量を測定する質量流量トランスデューサにおいて、 一次的流体流路を画成する手段を有するハウジング手段と、 前記ハウジングに結合されて、その各々が前記一次的流体流路内の対応し且つ異なる範囲の流体の流量に対する少なくとも2つの二次的流路を画成する手段と、 前記二次的流路の各々が前記一次的流体流路と平行に且つ該一次的流体流路と流体連通状態に配置され、 前記第二の流路の1つと関連付けられた流量範囲内にて前記一次的流路内を流体が流れることにより、流体が前記一次的流路内の流量に対して且つ該流量の関数としての量にて二次的流路内を流れるようにし、 前記二次的流路の各々に結合され、前記一次的流路内の流体の流量を各二次的流路内を流動する流体の温度の関数として、対応する流量範囲に亙って測定する手段を備える、質量流量トランスデューサ。

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭57-010414
  
• 特開昭57-035718