特許
J-GLOBAL ID：200903044308287605
基板の洗浄装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大胡 典夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-006047
公開番号（公開出願番号）：特開平7-211683
出願日： 1994年01月25日
公開日（公表日）： 1995年08月11日
要約：
【要約】【目的】 LCD用カラーフィルターの製造工程で、ガラス基板の現像後の現像残渣の除去効率の高い基板の洗浄装置を提供すること。【構成】 ねこの目形状のスプレーパターンを有するノズル27をパイプ28に複数個取り付け、互いに隣接するノズル27から所定の圧力で噴射される純水が、ガラス基板2の表面に達する前にぶつかりあつてガラス基板2の表面の洗浄力がおちないように、スプレーパターンの長手方向を結ぶ直線が基板の搬送方向に直交する方向の直線に対し、3°〜30°の角度になる様にノズル27をパイプ28に取り付けている。
請求項（抜粋）：
基板を搬送する搬送手段と、前記基板を洗浄する洗浄液が供給されるパイプと、このパイプにそれぞれが所定の間隔で取り付けられ、かつ、前記基板の搬送方向に直交する方向に対し、スプレーパターンの長手方向が3°〜30°の角度で前記基板に洗浄液を噴射する複数個のノズルとを具備したことを特徴とする基板の洗浄装置。
IPC (3件)：
H01L 21/304 341
, B08B 3/02
, G02F 1/1333 500
