特許
J-GLOBAL ID:200903044308707671
液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法
発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-349600
公開番号(公開出願番号):特開2004-184582
出願日: 2002年12月02日
公開日(公表日): 2004年07月02日
要約:
【課題】樹脂ブラックマトリックスの端部上に、高い突起を有する液晶表示装置用カラーフィルタの該突起を研磨除去する際に、平盤研磨機の表面うねりに起因する、突起の除去、高さ低減における表面うねり状のバラツキを解消するために、定盤と研磨パッドとの間に柔軟層を設けて研磨しても、着色画素の膜厚を減少させず、突起を選択的に研磨除去する液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法を提供すること。【解決手段】平盤研磨機を用いて除去する際に、定盤12と研磨パッド13との間に柔軟層14及び硬質フィルム層15を設けた平盤研磨機を用いて研磨除去すること。【選択図】図1
請求項(抜粋):
ガラス基板上に、樹脂ブラックマトリックス、樹脂ブラックマトリックスの端部に周縁部が重なる状態で膜厚の厚い着色画素が順次形成され、該端部上に着色画素との重なりにより生じる、高さの高い突起を有する液晶表示装置用カラーフィルタの該突起を、平盤研磨機を用いて除去する際に、定盤と研磨パッドとの間に柔軟層及び硬質フィルム層を設けた平盤研磨機を用いて研磨除去することを特徴とする液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法。
IPC (4件):
G02B5/20
, G02B5/00
, G02F1/13
, G02F1/1335
FI (5件):
G02B5/20 101
, G02B5/00 B
, G02F1/13 101
, G02F1/1335 500
, G02F1/1335 505
Fターム (27件):
2H042AA09
, 2H042AA26
, 2H048BA02
, 2H048BA11
, 2H048BA45
, 2H048BB02
, 2H048BB14
, 2H048BB24
, 2H048BB28
, 2H048BB42
, 2H088FA19
, 2H088FA25
, 2H088FA30
, 2H088HA12
, 2H088HA14
, 2H088MA04
, 2H091FA02Y
, 2H091FA35Y
, 2H091FB02
, 2H091FB06
, 2H091FB08
, 2H091FC10
, 2H091FC15
, 2H091FC26
, 2H091FC29
, 2H091LA16
, 2H091LA30
引用特許:
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