特許

J-GLOBAL ID：200903044310154817

微小質量測定装置

発明者： 田中 一郎
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 山下 亮一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-023715
公開番号（公開出願番号）：特開2003-222580
出願日： 2002年01月31日
公開日（公表日）： 2003年08月08日
要約：

【要約】【目的】 最小限のサンプル数で微小質量を高精度に測定することができるとともに、溶液のスポッティングの容易化を図ることができる微小質量測定装置を提供すること。【構成】 圧電材料基板の両面に金属電極があり、この電極に電圧を印加し、圧電材料を振動させ、該金属電極の表面に付着した被測定試料の質量を該圧電材料の振動数の変化又はインピーダンスの変化から読み取る微小質量測定装置において、試料測定側の該電極部以外の圧電材料基板の表面の一部又は全てを疎水性の材料、電極部よりも被測定試料の溶媒の接触角が大きい材料、テトラフロロエチレン又は炭素とフッ素を主成分とするポリマーで覆う。

請求項（抜粋）：

圧電材料基板の両面に金属電極があり、この電極に電圧を印加し、圧電材料を振動させ、該金属電極の表面に付着した被測定試料の質量を該圧電材料の振動数の変化又はインピーダンスの変化から読み取る微小質量測定装置において、試料測定側の該電極部以外の圧電材料基板の表面の一部又は全てを疎水性の材料で覆ったことを特徴とする微小質量測定装置。