積層圧電アクチユエータ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：舘野千惠子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-291890
公開番号（公開出願番号）：特開平5-110157
出願日： 1991年10月14日
公開日（公表日）： 1993年04月30日
要約：

【要約】【目的】内部電極が露出することによる側面での絶縁破壊を防止し、高い信頼性を有しながら、比較的安価に作製できる積層圧電アクチュエ-タを提供する。【構成】四側面のうち対向する二側面に露出する部分のみを白金内部電極1で形成し、外部電極を形成する別の二側面に至る内部電極は銀パラジウム合金2で形成する。このような内部電極を被着形成した圧電セラミック3と保護層4とを積層し、焼成・一体化して積層セラミック体としたものを用いる。

請求項（抜粋）：

表面に導電性の内部電極が全面被着されたシ-ト状の圧電セラミックを複数枚積重し、その上下に保護層が配置された積層セラミック体と、該積層セラミック体の相対向する二側面に露出した内部電極とその近傍を一層おきに互い違いに被覆する電気絶縁層と、該電気絶縁層が形成された二側面上に設けられた導電性の外部電極と、該外部電極と電源側を連結するリ-ド線等から構成される積層圧電アクチュエ-タにおいて、電気絶縁層の設けられていない積層セラミック体の他の二側面に露出した内部電極部分を白金で形成し、非露出部の内部電極を別の金属で形成することを特徴とする積層圧電アクチュエ-タ。

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平2-012880
特開平3-155178
特開平2-164082

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