特許

J-GLOBAL ID：200903044312366196

歩留まり統計解析方法および装置

発明者： 内田 明久 ,  前田 章 ,  市森 俊秀 ,  安斉 昭夫 ,  船越 清彦
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 筒井 大和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-176995
公開番号（公開出願番号）：特開平9-027531
出願日： 1995年07月13日
公開日（公表日）： 1997年01月28日
要約：

【要約】【目的】 検査工程における検査データを自動的に解析し、歩留まり予測を短時間に高精度で行う。【構成】 ウエハ検査装置2およびプローブ検査装置3の検査データを記憶装置6に、各半導体ウエハ毎やロット毎に格納し、必要な検査データを記憶装置6から検索し、制御演算部7が、それらの検査データにおける相関関係などを相関分析などを用いて演算し、その結果を制御演算部7を介して記憶部8に格納する。制御演算部7は、記憶装置6と記憶部8に格納されているデータを照合し、歩留まり予測を行う。

請求項（抜粋）：

任意の検査工程における半導体ウエハの歩留まりならびに不良率を予測する歩留まり統計解析方法であって、前記半導体ウエハにおける各々の検査工程毎の検査データに基づいて各々の検査工程における相関関数よりなる解析データを算出する工程と、予測を行う任意の検査工程の前検査工程における前記検査データと前記解析データとの照合を行い、任意の検査工程における前記半導体ウエハの歩留まりならびに不良内容を自動的に予測する工程とを有したことを特徴とする歩留まり統計解析方法。