特許
J-GLOBAL ID：200903044313046241
微小硬度測定法
発明者：
,
,
,
,
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
永井 冬紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-016025
公開番号（公開出願番号）：特開平9-210892
出願日： 1996年01月31日
公開日（公表日）： 1997年08月15日
要約：
【要約】【課題】 圧子先端形状や材料の弾性回復の影響を受けることなく試料の微小領域や極表面の硬度を正確に測定する。【解決手段】 圧子101により試料に形成された圧痕の形状を原子間顕微鏡2で三次元計測し、この三次元計測値に基づいて圧痕の実表面積をCPU3により算出する。なお、三次元計測値から得られるデータは二次元的な離散データであり、このデータから直接に実表面積を算出したり、データに基づいて等高線を求めて実表面積を算出したりする。この算出された実表面積と荷重計103によって求められる圧痕形成時の圧子101の荷重Pとに基づいて試料の硬度をCPU3により算出する。
請求項（抜粋）：
圧子で試料に形成された圧痕の形状の三次元計測値から前記圧痕の実表面積を算出し、この実表面積と圧痕形成時の圧子の押圧荷重とに基づいて前記試料の硬度を算出する演算手段を備えることを特徴とする微小硬度測定法。
FI (2件)：
G01N 3/42 E
, G01N 3/42 F
