特許
J-GLOBAL ID：200903044329694987

光学デバイス、波長可変フィルタ、波長可変フィルタモジュール、および光スペクトラムアナライザ

発明者：
中村 亮介

中村 亮介 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (2件)： 増田 達哉 ,  朝比 一夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-182800
公開番号（公開出願番号）：特開2009-282540
出願日： 2009年08月05日
公開日（公表日）： 2009年12月03日
要約：
【課題】駆動電圧を低減しつつ、優れた光学特性を有する光学デバイス、波長可変フィルタ、波長可変フィルタモジュール、および光スペクトラムアナライザを提供すること。【解決手段】本発明の光学デバイス1は、可動部21の固定反射膜35側の面に対し間隔を隔てて対向するように、固定部に固定的に設けられた第1の電極33と、可動部21の固定反射膜35と反対側の面に対し間隔を隔てて対向するように、固定部に対し固定的に設けられた第2の電極43とを備え、第1の電極33および第2の電極43のうち、一方の電極は、可動部21との間の静電容量を検出するための検出電極として機能し、他方の電極は、可動部21との間に電位差を生じさせることにより、これらの間に静電引力を生じさせて、可動部21の位置および/または姿勢を変化させるための駆動電極として機能する。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
第1の光反射部を有する固定部と、 前記第1の光反射部に対し第1のギャップを隔てて対向する第2の光反射部を有し、前記第1のギャップを変更するように前記固定部に対し変位可能な可動部と、 前記可動部の前記第1の光反射部側の面に対し第2のギャップを隔てて対向するように、前記固定部に固定的に設けられ、全体としてほぼ円環状をなす第1の電極と、 前記可動部の前記第1の光反射部と反対側の面に対し第3のギャップを隔てて対向するように、前記固定部に対し固定的に設けられ、全体としてほぼ円環状をなす第2の電極と、 前記第1の電極および前記第2の電極にそれぞれ接続された通電回路とを備え、 前記第1の電極および前記第2の電極のうち、一方の電極は、前記可動部との間の静電容量を検出するための検出電極として機能し、他方の電極は、前記可動部との間に電位差を生じさせることにより、これらの間に静電引力を生じさせて、前記可動部の位置および/または姿勢を変化させるための駆動電極として機能し、 前記第1の光反射部と前記第2の光反射部との間で光反射を繰り返し、干渉を生じさせて、これらの間の距離に応じた波長の光を外部に出射し得るよう構成され、 前記通電回路は、前記第1の電極および前記第2の電極が、それぞれ、前記検出電極として機能するときと、前記駆動電極として機能するときとに交互に切り換えられるように構成され、 前記可動部と前記第1の電極との間に電圧を印加することにより、前記可動部を前記第1の電極側に変位させ得るとともに、 前記可動部と前記第2の電極との間に電圧を印加することにより、前記可動部を前記第2の電極側に変位させ得るものであり、 前記可動部と前記第1の電極との間、および、前記可動部と前記第2の電極との間にそれぞれ電位差を生じさせない状態において、前記第2のギャップと前記第3のギャップとが等しいことを特徴とする光学デバイス。
IPC (3件)：
G02B 26/00 ,  G02B 5/28 ,  G01J 3/26
FI (3件)：
G02B26/00 ,  G02B5/28 ,  G01J3/26
Fターム (32件)：
2G020AA03 ,  2G020AA04 ,  2G020AA05 ,  2G020CC23 ,  2G020CC31 ,  2G020CC56 ,  2H048GA04 ,  2H048GA13 ,  2H048GA48 ,  2H141MA22 ,  2H141MB13 ,  2H141MB23 ,  2H141MB28 ,  2H141MC06 ,  2H141MD04 ,  2H141MD38 ,  2H141ME01 ,  2H141ME06 ,  2H141MF05 ,  2H141MF14 ,  2H141MF22 ,  2H141MG10 ,  2H141MZ03 ,  2H141MZ13 ,  2H141MZ16 ,  2H141MZ17 ,  2H141MZ19 ,  2H141MZ22 ,  2H141MZ25 ,  2H141MZ26 ,  2H141MZ28 ,  2H141MZ30
引用特許：
審査官引用 (5件)
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