特許

J-GLOBAL ID：200903044333593915

搬送装置

発明者： 宮本 明宏
出願人/特許権者： 新光電気工業株式会社
代理人 (2件)： 綿貫 隆夫 ,  堀米 和春
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-356495
公開番号（公開出願番号）：特開2004-193195
出願日： 2002年12月09日
公開日（公表日）： 2004年07月08日
要約：

【課題】厚さ100μm以下の薄いワークを破損することなく安全に搬送でき且つワークの位置決めを容易に行うことができる搬送装置を提供する。【解決手段】厚さ100μm以下の薄いウェーハを、その載置箇所から他の箇所に搬送する搬送装置であって、該搬送装置には、移動可能で且つ回動可能に設けられた板状部材20と、板状部材20を移動し且つ回動する移動・回動手段とを具備し、板状部材20には、前記載置箇所に載置されているウェーハを、その全体を均等に持ち上げるリフト手段と、前記リフト手段で持ち上げられたウェーハを、その全体を均等に板状部材20のウェーハ吸着面20aに吸着して保持する保持手段とが併設され、且つ前記リフト手段としての複数個のベルヌーイノズル30,30・・と保持手段としての複数個の真空吸着ノズル32,32・・とが、板状部材20の外周縁近傍のウェーハ吸着面20aに、前記外周縁に沿って交互に開口されていることを特徴とする。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

ウェーハ等の厚さ100μm以下の薄いワークを、その載置箇所から他の箇所に搬送する搬送装置であって、 該搬送装置には、移動可能で且つ回動可能に設けられた板状部材と、前記板状部材を移動し且つ回動する移動・回動手段とを具備し、 前記板状部材には、前記載置箇所に載置されているワークを、その全体を均等に持ち上げるリフト手段と、前記リフト手段で持ち上げられたワークを、その全体を均等に前記板状部材のワーク吸着面に吸着して保持する保持手段とが併設され、 且つ前記リフト手段としての複数個のベルヌーイノズルが、前記板状部材の外周縁近傍のワーク吸着面に、前記外周縁に沿って開口されていることを特徴とする搬送装置。

IPC (3件)：

H01L21/68 ,  B25J15/06 ,  B65G49/07

FI (7件)：

H01L21/68 B ,  H01L21/68 C ,  B25J15/06 M ,  B25J15/06 S ,  B25J15/06 Z ,  B65G49/07 G ,  B65G49/07 H

Fターム (36件)：

3C007AS03 ,  3C007AS24 ,  3C007BS15 ,  3C007DS02 ,  3C007FS04 ,  3C007FS10 ,  3C007FT12 ,  3C007FU02 ,  3C007NS13 ,  5F031CA02 ,  5F031CA20 ,  5F031DA01 ,  5F031DA13 ,  5F031DA15 ,  5F031DA20 ,  5F031FA01 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031FA15 ,  5F031GA08 ,  5F031GA09 ,  5F031GA24 ,  5F031GA28 ,  5F031GA32 ,  5F031GA35 ,  5F031GA38 ,  5F031GA43 ,  5F031GA47 ,  5F031JA04 ,  5F031JA22 ,  5F031JA40 ,  5F031KA03 ,  5F031MA37 ,  5F031PA08 ,  5F031PA20