コンデンサ用金属蒸着フィルムの製造方法およびコンデンサ用金属蒸着フィルムの製造装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岩橋文雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-146570
公開番号（公開出願番号）：特開2001-052949
出願日： 2000年05月18日
公開日（公表日）： 2001年02月23日
要約：

【要約】【課題】傷、はがれ、化学反応による消失が生じにくい蒸着金属膜を形成するとと共に、各層間における接着力を強化することによるコンデンサ素子形成性、耐パルス電流特性、および耐湿度特性に優れたコンデンサ用金属蒸着フィルムの製造方法および製造装置を提供すること。【解決手段】本発明に係るコンデンサ用金属蒸着フィルムの製造方法は、高分子フィルム上の少なくとも一部にマスキングオイル層を形成する第1工程、高分子フィルムに金属を蒸着させて、マスキングオイル層が形成された部分以外の高分子フィルム上に蒸着金属層を形成する第2工程、およびマスキングオイル層を高分子フィルム上から除去する第3工程を包含する。第3工程においては、高分子フィルム11に放電処理を施してマスキングオイル層を除去することが好ましく、このような放電処理としてはグロー放電が好ましい。

請求項（抜粋）：

高分子フィルム(11)上の少なくとも一部にマスキングオイル層を形成する第1工程、前記高分子フィルム(11)に金属を蒸着させて、マスキングオイル層が形成された部分以外の前記高分子フィルム(11)上に蒸着金属層(2)を形成する第2工程、および前記マスキングオイル層を前記高分子フィルム(11)上から除去する第3工程、を包含するコンデンサ用金属蒸着フィルムの製造方法。

IPC (4件)：

H01G 4/015 , H01G 4/18 , C23C 14/20 , H01G 13/00 391

FI (4件)：

H01G 4/24 331 B , C23C 14/20 A , H01G 13/00 391 C , H01G 4/24 331 A

Fターム (30件)：

4K029AA11 , 4K029AA25 , 4K029BA03 , 4K029BA18 , 4K029BB03 , 4K029BD00 , 4K029GA02 , 4K029HA05 , 5E082AB04 , 5E082BC14 , 5E082BC19 , 5E082BC32 , 5E082EE07 , 5E082EE08 , 5E082EE23 , 5E082EE24 , 5E082EE38 , 5E082EE45 , 5E082FF15 , 5E082FG06 , 5E082FG34 , 5E082FG36 , 5E082FG56 , 5E082GG10 , 5E082GG27 , 5E082JJ04 , 5E082JJ22 , 5E082MM09 , 5E082MM11 , 5E082MM24

引用特許：

審査官引用 (2件)

蒸着フィルムおよびそれを用いてなるコンデンサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-264530 出願人：東レ株式会社
特開平3-097861

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