特許
J-GLOBAL ID:200903044348766425
ハロシラン類の精製方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
石田 敬 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-123541
公開番号(公開出願番号):特開平8-038804
出願日: 1995年05月23日
公開日(公表日): 1996年02月13日
要約:
【要約】【目的】 ハロシランと炭化水素を含む混合物から炭化水素を除いて精製する方法を提供する。【構成】 ハロシランと炭化水素の混合物を炭化水素に選択的に吸着性を示す吸着剤と接触させ、これによってこの混合物の炭化水素含量を減らすことを含む、ハロシラン類の炭化水素含量を減らす方法。
請求項(抜粋):
ハロシランと炭化水素の混合物を炭化水素に選択的に吸着性を示す吸着剤と接触させ、これによってこの混合物の炭化水素含量を減らすことを含む、ハロシラン類の炭化水素含量を減らす方法。
IPC (4件):
B01D 15/00
, B01J 20/18
, B01J 20/20
, B01J 20/34
引用特許:
審査官引用 (2件)
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特開昭53-111043
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特開昭62-142188
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