特許

J-GLOBAL ID：200903044350486715

配線パターン検査装置

発明者： 丸山 祐二 ,  川村 秀昭 ,  山本 淳晴 ,  松崎 高年
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-261146
公開番号（公開出願番号）：特開平6-109446
出願日： 1992年09月30日
公開日（公表日）： 1994年04月19日
要約：

【要約】【目的】 プリント基板やホトマスク等における配線パターンの不良を検査するための配線パターン検査装置に関するもので、デザインルール法に基づいた特徴比較において、比較判定時に対象となる候補が複数存在する場合や細線化処理により特徴抽出を行う際にエッチングの行程のばらつきによりスケルトン画像の発生が不安定となり虚報の原因となっていた。本発明は、配線パターンの膨張収縮や歪および位置合わせ誤差などを吸収し虚報が少なく安定した配線パターン検査装置を提供するすることを目的とする。【構成】 プリント基板101上に形成された配線パターンを入力し、濃淡画像を2値画像に変換し、配線パターン特徴を特徴抽出手段106で抽出し、基準データを予め記憶する基準情報記憶手段107と被検査基板からの特徴を一時記憶する特徴情報記憶手段108からの双方の特徴情報を、比較判定手段109で第1の判定処理および第2の判定処理により比較判定し真の欠陥のみを検出する。

請求項（抜粋）：

プリント基板上に形成された配線パターンを光電変換する画像入力手段と、前記画像入力手段からの濃淡画像を2値画像に変換する2値化手段と、前記2値化手段からの2値画像から配線パターンの特徴を抽出する特徴抽出手段と、前記特徴抽出手段からの配線パターンの特徴情報を一旦記憶する特徴情報記憶手段と、前記特徴抽出手段からの配線パターンの特徴情報を予め良品基板から抽出し基準データとして記憶する基準情報記憶手段と、前記特徴情報記憶手段からの被検査基板の配線パターンの特徴情報と前記基準情報記憶手段からの良品基板の特徴情報とを、第1の判定処理として被検査基板から抽出した注目特徴点tnを中心にある任意に定めた第1の判定領域に良品基板からの特徴点rnが対応するかを判定し、対応する特徴点が存在しない場合は欠陥として登録し、対応する特徴点が複数存在する場合は第2の判定処理として注目特徴点tnとすでに対応付けの終了した1つ以上の周辺特徴点tn-iとの距離slを求め、良品基板のすでに周辺特徴点tn-iと対応付けの終了した周辺特徴点rn-iからの距離slの点を中心に任意に定めた第2の判定領域に注目特徴点tnと対応する特徴点rnが存在するかを判定し、存在しない場合は欠陥として登録し真の欠陥のみを検出する比較判定手段とからなることを特徴とする配線パターン検査装置。

IPC (8件)：

G01B 11/24 ,  G01N 21/88 ,  G03F 1/08 ,  G06F 15/62 405 ,  G06F 15/70 455 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/66 ,  H05K 3/00