特許
J-GLOBAL ID：200903044358793692
光学結像システムの収差を検出する方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
沢田 雅男
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-584349
公開番号（公開出願番号）：特表2002-530878
出願日： 1999年11月22日
公開日（公表日）： 2002年09月17日
要約：
【要約】【課題】 従来とは異なった原理に基づき、かつ各種の収差を互いに独立に測定することができる第一パラグラフに記述した型の方法を提供すること。【解決手段】 結像システム(PL)の収差は、結像システムによってフォトレジスト(PR)に円形の位相構造(22)を結像させ、レジストを現像し、かつイメージプロセッサ(IP)に結合している走査検出デバイス(SEM)によりそれを走査して、正確でかつ信頼できる方法により、検出することができる。円形の位相構造は、リング構造(25)に結像され、そしてコマ収差、非点収差、三点収差などのようないくつかの可能性のある収差の各々は、リングの内側の輪郭(CI)と外側の輪郭(CE)の形状に特定変化を起こす。その結果、収差を、互いに独立して検出することが出来る。この新たな方法は、リソグラフィック投影装置のための投影システムを測定するために使用することができる。
請求項（抜粋）：
光学結像システムの収差を検出する方法であって、- 前記システムのオブジェクト面にテストオブジェクトを配置するステップ、- 前記システムのイメージ面にフォトレジスト層を設けるステップ、- 前記システムと結像ビームによって前記テストオブジェクトを結像させるステップ、- 前記フォトレジスト層を現像させるステップ、そして- 前記結像システムの解像度よりもかなり大きい解像度を有する走査検出デバイスによって前記現像されたイメージを検出するステップを有する方法において、 少なくとも一つの閉じた単一図形を有するテストオブジェクトが使用され、そして前記走査検出デバイスにより観測されるこの図形のイメージが、前記単一図形の前記イメージ内の形状変化の異なった型の少なくとも一つを確かめるためにイメージ解析され、形状変化の各型が、所定の収差を示すことを特徴とする光学結像システムの収差を検出する方法。
IPC (5件)：
H01L 21/027
, G01M 11/02
, G02B 21/00
, G03F 1/08
, G03F 7/20 521
G01M 11/02 B
, G02B 21/00
, G03F 1/08 A
, G03F 1/08 P
, G03F 1/08 R
, G03F 7/20 521
, H01L 21/30 516 A
2G086HH06
, 2H052AA07
, 2H052AF02
, 2H095BB03
, 2H095BE04
, 2H095BE05
, 2H095BE06
, 2H095BE08
, 2H095BE09
, 5F046DA13
, 5F046DB05
