単板連続塗布装置

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-099740
公開番号（公開出願番号）：特開2003-290697
出願日： 2002年04月02日
公開日（公表日）： 2003年10月14日
要約：

【要約】【課題】ガラス板を連続して供給する際に、加速減速域を無くして連続的に塗布を行うようにし、塗液供給も一定の圧力での連続的とし、塗布開始と終了時の膜厚不安定エリアを無くし、かつ塗布速度の向上が見込める単板連続塗布装置を提供することを目的とする。【解決手段】方形状の基板を連続して供給する基板連続供給手段と、該連続して供給され搬送される基板の位置を検出する基板位置検出手段と、該基板の搬送が変速可能な搬送駆動部と、該基板を連結させるテープを貼るテープ貼り手段と、左右の位置ずれを防ぐ基板ガイド手段と、該基板へ塗液を塗布する塗布手段と、該塗布手段と基板との距離を調整するギャップ調整手段と、該塗布手段に塗液を供給する塗液供給手段と、連結に用いたテープを剥離するテープ剥離手段と、塗布された基板を排出する基板排出手段とを備える単板連続塗布装置を提供する。

請求項（抜粋）：

連続する方形状の基板へ塗液を塗布する単板連続塗布装置であって、前記方形状の基板を連続して供給する基板連続供給手段と、該連続して供給され搬送される基板の位置を検出する基板位置検出手段と、該基板の搬送が変速可能な搬送駆動部と、該基板を連結させるテープを貼るテープ貼り手段と、左右の位置ずれを防ぐ基板ガイド手段と、該基板へ塗液を塗布するダイヘッドからなる塗布手段と、該塗布手段と基板との距離を調整するギャップ調整手段と、該塗布手段に塗液を供給する塗液供給手段と、連結に用いたテープを剥離するテープ剥離手段と、塗布された基板を排出する基板排出手段とを具備することを特徴とする単板連続塗布装置。

IPC (4件)：

B05C 5/02 , B05C 13/00 , G02F 1/1333 500 , G02F 1/13 101

FI (4件)：

B05C 5/02 , B05C 13/00 , G02F 1/1333 500 , G02F 1/13 101

Fターム (23件)：

2H088FA17 , 2H088FA20 , 2H088FA25 , 2H088FA26 , 2H088FA27 , 2H088FA28 , 2H088FA30 , 2H088MA16 , 2H090JC07 , 2H090JC18 , 2H090JD15 , 4F041AA02 , 4F041AA05 , 4F041AB01 , 4F041CA02 , 4F041CA18 , 4F042AA02 , 4F042AA06 , 4F042AA10 , 4F042AB00 , 4F042DF10 , 4F042DF16 , 4F042ED05

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