特許
J-GLOBAL ID：200903044361191105
カーボンハーメチック被覆光ファイバの製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松本 英俊
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-035254
公開番号（公開出願番号）：特開平6-247747
出願日： 1993年02月24日
公開日（公表日）： 1994年09月06日
要約：
【要約】【目的】 光ファイバに水素含有量の少ないカーボンハーメチック被覆を容易に形成できるカーボンハーメチック被覆光ファイバの製造方法を提供する。【構成】 プラズマCVD法を用いて光ファイバ11の表面にカーボンハーメチック被覆を施してカーボンハーメチック被覆光ファイバ11aを製造する。このとき原料ガスとして、エチレンガスと水素ガスとの混合ガスを用いる。
請求項（抜粋）：
プラズマCVD法を用いて光ファイバの表面にカーボンハーメチック被覆を施してカーボンハーメチック被覆光ファイバを製造するカーボン被覆光ファイバの製造方法において、原料ガスとして少なくとも炭化水素系ガスと水素ガスとの混合ガスを用いることを特徴とするカーボンハーメチック被覆光ファイバの製造方法。
IPC (3件)：
C03C 25/02
, C03B 37/01
, G02B 6/44 301
