特許

J-GLOBAL ID：200903044361916835

周期構造物体の欠陥検出方法および欠陥検出装置

発明者： 西 壽巳
出願人/特許権者： 日本板硝子株式会社
代理人 (1件)： 土屋 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-307366
公開番号（公開出願番号）：特開平7-140081
出願日： 1993年11月12日
公開日（公表日）： 1995年06月02日
要約：

【要約】【構成】 周期構造物体に対応して順次得られる複数の1次元画像データの各島部分の連結状態を検出し、上記各島部分にそれぞれ対応する上記周期構造物体の各形状部分が複数種類の属性のうちのいずれの属性であるかを上記検出された連結状態に応じて判定し、上記各形状部分の特徴量をそれぞれ検出し、上記形状部分についての上記特徴量の検出値を、この形状部分の判定された属性のこれと対応する特徴量の基準値と比較する。【効果】 周期的に変化する形状の或る程度の変形や或る程度のねじれが正常範囲内であるとして許容される周期構造物体についても、必要な欠陥検出を複雑な演算を行うことなく確実に行うことができるから、信頼性の高い欠陥検出を高速で行うことができる。

請求項（抜粋）：

周期構造物体に対応して順次得られる複数の1次元画像データの各島部分の連結状態を検出することと、上記各島部分にそれぞれ対応する上記周期構造物体の各形状部分が複数種類の属性のうちのいずれの属性であるかを上記検出された連結状態に応じて判定することと、上記各形状部分の特徴量をそれぞれ検出することと、上記形状部分についての上記特徴量の検出値を、この形状部分の判定された属性のこれと対応する特徴量の基準値と比較することとを備えている周期構造物体の欠陥検出方法。

IPC (2件)：

G01N 21/88 ,  G01B 11/24

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 特開平3-067159
  
• 特開平1-189549
  
• 特開昭60-103487