形状測定装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-301077
公開番号（公開出願番号）：特開平10-132549
出願日： 1996年10月25日
公開日（公表日）： 1998年05月22日
要約：

【要約】【課題】走査速度が変化しても一定のサンプリング位置間隔の測定データを取得することができる形状測定装置を提供する。【解決手段】曲線A,B,Cは被測定物7の被測定面の形状に対する変位計の走査位置(横軸)と走査速度(縦軸)の関係を示す。まず、測定装置の変位計を被測定物7の測定開始位置Sに設定し、測定を開始する。被測定物7が図1に示すような形状の場合、中央に比べその両端は傾斜角が大きくなっている。従って、変位計は、被測定物7の両端部で走査速度が低速となる。なお、走査速度が可変であればその変化軌跡はどうあっても構わない(曲線B、曲線C等)。変位計の走査速度によらず、X方向に走査している間の変位計の位置を走査方向に等間隔で(サンプリング(測定)位置間隔を一定間隔として)測定し、形状解析を行う。

請求項（抜粋）：

光学式変位計を非接触プロープとして備え、該変位計の出力を用いて前記非接触プローブを被測定物表面に沿って走査させて該被測定物の表面形状を測定する非接触式形状測定装置であって、前記変位計の走査速度を変化させる形状測定装置において、前記変位計の走査速度によらず、測定サンプリング位置間隔を一定間隔とすることを特徴とする形状測定装置。

IPC (2件)：

G01B 21/20 101 , G01B 11/24

FI (2件)：

G01B 21/20 101 Z , G01B 11/24 A

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