特許
J-GLOBAL ID：200903044365732658
基板搬送ハンドおよびこれを備えた基板搬送装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
阪本 善朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-139612
公開番号（公開出願番号）：特開平6-329252
出願日： 1993年05月18日
公開日（公表日）： 1994年11月29日
要約：
【要約】【目的】 基板の搬出に要する時間を短縮する。【構成】 ハンド1は基板10に向って開閉する5個のフィンガ11〜15を有し、各フィンガ11〜15の下端には底面支持片17a〜17eが設けられ、その上方には、垂直方向に移動自在であり、バネ18bによって所定の高さに付勢された位置決めロール19a〜19eが保持されている。各フィンガ11〜15を閉じることで位置決めロール19a〜19eを基板の外周縁に当接したうえでハンド10を上昇させると、各底面支持片17a〜17eが基板10の下面10aに当接されてこれを持上げる。各位置決めロール19a〜19eは基板10の重さによって下降し、各底面支持片17a〜17eとともに基板を支持する。
請求項（抜粋）：
水平方向に開閉自在である複数の把持部材と、これらを保持する本体からなり、各把持部材が、これと一体である支持手段と、該支持手段に対して垂直方向に接近離間自在である当接手段と、該当接手段を前記支持手段から垂直方向上向きに所定距離だけ離間した位置に付勢する付勢手段を有し、前記支持手段が前記当接手段によって位置決めされた基板の下に突出するように配設されていることを特徴とする基板搬送ハンド。
IPC (5件)：
B65G 49/07
, G03F 1/08
, G03F 9/00
, H01L 21/027
, H01L 21/68
