特許

J-GLOBAL ID：200903044369061332

表面処理方法及び装置

発明者： 石井 徹哉
出願人/特許権者： 積水化学工業株式会社
代理人 (2件)： 渡辺 昇 ,  原田 三十義
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-236406
公開番号（公開出願番号）：特開2009-070958
出願日： 2007年09月12日
公開日（公表日）： 2009年04月02日
要約：

【課題】フッ化水素(HF)を用いた表面処理における安全性を向上させる。【解決手段】貯留容器10に無水または含水の液体フッ化水素11を貯留する。吸込加圧手段20によって、容器10内を大気圧以下または前記被処理物の配置環境の圧力以下にし、気化したHFガスを吸い込んで加圧し、被処理物Wへ供給して表面処理を行なう。氷を蓄熱剤32とする温調手段30によって、貯留容器10内をHFの大気圧下での沸点(約20°C)より低温に保つ。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

被処理物をフッ化水素と反応させて表面処理する装置であって、 無水または含水の液体フッ化水素を、大気圧以下または前記被処理物の配置環境の圧力以下で貯留する容器と、 前記貯留容器内をフッ化水素の大気圧下での沸点より低温に保つ温調手段と、 前記液体フッ化水素から気化したガスを吸い込んで加圧し、前記被処理物の配置環境へ供給する吸込加圧手段と、 を備えたことを特徴とする表面処理装置。

IPC (3件)：

H01L 21/302 ,  H01L 21/304 ,  B08B 3/08

FI (4件)：

H01L21/302 201A ,  H01L21/304 645B ,  H01L21/304 648L ,  B08B3/08 B

Fターム (32件)：

3B201AA02 ,  3B201AA03 ,  3B201AB42 ,  3B201BB22 ,  3B201BB32 ,  3B201BB62 ,  3B201BB77 ,  3B201BB78 ,  3B201BB82 ,  3B201CB12 ,  3B201CD11 ,  3B201CD43 ,  5F004AA16 ,  5F004BA19 ,  5F004BB32 ,  5F004BC02 ,  5F004BC08 ,  5F004DA20 ,  5F004DB03 ,  5F157AA29 ,  5F157AB02 ,  5F157AB13 ,  5F157AB33 ,  5F157BG24 ,  5F157BG85 ,  5F157BG86 ,  5F157CA24 ,  5F157CF04 ,  5F157CF38 ,  5F157CF62 ,  5F157CF99 ,  5F157DA01

引用特許：

出願人引用 (1件)

• エッチング方法およびエッチング装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-369877   出願人：大日本スクリーン製造株式会社