特許

J-GLOBAL ID：200903044371732511

レジスト吐出方法

発明者： 山平 豊 ,  岩間 達之
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 高山 宏志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-017762
公開番号（公開出願番号）：特開平9-320958
出願日： 1988年12月12日
公開日（公表日）： 1997年12月12日
要約：

【要約】【課題】レジストの無駄を抑制し、ランニングコストを低くすることが可能なレジスト吐出方法を提供すること。【解決手段】複数系統のレジスト供給系を有するレジスト塗布装置においてノズルから変質したレジストを吐出廃棄するダミーディスペンスを行うにあたり、これら複数系統のレジスト供給系のうち通常吐出を行っている系統でダミーディスペンスを行い、それ以外の系統におけるダミーディスペンスを禁止する。

請求項（抜粋）：

複数系統のレジスト供給系を有するレジスト塗布装置においてノズルから変質したレジストを吐出廃棄するダミーディスペンスを行うにあたり、これら複数系統のレジスト供給系のうち通常吐出を行っている系統でダミーディスペンスを行い、それ以外の系統におけるダミーディスペンスを禁止することを特徴とするレジスト吐出方法。

IPC (5件)：

H01L 21/027 ,  B05D 1/02 ,  B05D 1/40 ,  G03F 7/16 502 ,  B05C 11/08

FI (6件)：

H01L 21/30 564 D ,  B05D 1/02 B ,  B05D 1/40 A ,  G03F 7/16 502 ,  B05C 11/08 ,  H01L 21/30 564 Z

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特開昭62-171124