微粒子担持材料の製造方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (2件)：畠山文夫 , 小林かおる
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-331159
公開番号（公開出願番号）：特開2007-181820
出願日： 2006年12月07日
公開日（公表日）： 2007年07月19日
要約：

【課題】気相法を用いて材料表面にナノ粒子を担持させることができ、しかも、粒子の成長をナノスケールで制御することが可能な微粒子担持材料の製造方法を提供すること。【解決手段】反応管内に被処理材を設置し、前記反応管内を排気する排気工程と、前記反応管内に有機金属化合物の蒸気及び還元剤の蒸気を導入し、前記被処理材の表面に前記有機金属化合物に含まれる金属元素を含む微粒子を担持させる還元工程とを備えた微粒子担持材料の製造方法。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

反応管内に被処理材を設置し、前記反応管内を排気する排気工程と、前記反応管内に有機金属化合物の蒸気及び還元剤の蒸気を導入し、前記被処理材の表面に前記有機金属化合物に含まれる金属元素を含む微粒子を担持させる還元工程と、を備えた微粒子担持材料の製造方法。

IPC (7件)：

B01J 37/02 , B82B 3/00 , B01J 23/755 , B01J 35/02 , B01J 37/16 , B01J 19/00 , B82B 1/00

FI (7件)：

B01J37/02 301P , B82B3/00 , B01J23/74 321M , B01J35/02 J , B01J37/16 , B01J19/00 N , B82B1/00

Fターム (59件)：

4G075AA27 , 4G075AA30 , 4G075BA06 , 4G075BC04 , 4G075CA02 , 4G075CA65 , 4G075DA02 , 4G075DA18 , 4G075EB21 , 4G169AA03 , 4G169AA08 , 4G169AA09 , 4G169BA04A , 4G169BA04B , 4G169BA14B , 4G169BA21C , 4G169BA27C , 4G169BA48A , 4G169BB11A , 4G169BB11B , 4G169BC10A , 4G169BC10C , 4G169BC31A , 4G169BC31C , 4G169BC50A , 4G169BC50C , 4G169BC54A , 4G169BC54C , 4G169BC57A , 4G169BC57C , 4G169BC62A , 4G169BC62C , 4G169BC65A , 4G169BC65C , 4G169BC68A , 4G169BC68B , 4G169BC68C , 4G169BC70A , 4G169BC70C , 4G169BC73A , 4G169BC73C , 4G169BE04C , 4G169BE10C , 4G169BE11C , 4G169BE13C , 4G169BE34C , 4G169DA06 , 4G169EA02X , 4G169EA08 , 4G169EA11 , 4G169FA03 , 4G169FB02 , 4G169FB03 , 4G169FB44 , 4G169HA01 , 4G169HB01 , 4G169HC29 , 4G169HD03 , 4G169HD14

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