特許
J-GLOBAL ID：200903044383653854
表面検査装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
矢葺 知之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-005099
公開番号（公開出願番号）：特開平5-188010
出願日： 1992年01月14日
公開日（公表日）： 1993年07月27日
要約：
【要約】【目的】 鋼板表面検査装置に関するものであり、鋼板表面での乱反射光による誤検出を防止すること。【構成】 ライン走行中の帯状検査物の表面を幅方向に光走査し、その反射光を受光して被検査物の表面の欠陥を検査する表面検査装置において、反射光のうち正反射成分を受光する光電変換器と乱反射成分を受光する光電変換器を複数台設置し、正反射光電変換器より出力された信号から乱反射光電変換器より出力された信号を差し引くことにより欠陥信号を強調する事を特徴とする表面検査装置。
請求項（抜粋）：
ライン走行中の帯状検査物の表面を幅方向に光走査し、その反射光を受光して前記被検査物の表面の欠陥を検査する表面検査装置において、反射光のうち正反射成分を受光する光電変換器と乱反射成分を受光する光電変換器を複数台設置し、正反射光電変換器より出力された信号から乱反射光電変換器より出力された信号を差し引くことにより欠陥信号を強調することを特徴とする表面検査装置。
IPC (4件)：
G01N 21/89
, G01B 11/24
, G01B 11/30
, G01N 21/88
