特許
J-GLOBAL ID:200903044394434755
キャパシタ
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
青山 葆 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-036026
公開番号(公開出願番号):特開平5-234809
出願日: 1992年02月24日
公開日(公表日): 1993年09月10日
要約:
【要約】【目的】 電極2とPbを組成に含むペロブスカイト型強誘電体膜3とで構成されるキャパシタにおいて、電極2とSi系材料1との反応を防ぎ、かつ密着性を高める。しかも、上記強誘電体膜3の組成を化学量論的組成比に保って、キャパシタ特性を向上させる。【構成】 電極2の材料を、導電性を有するペロブスカイト型酸化物とする。例えば、BaPbO3またはBaPb1-xBixO3とする。または、電極2の材料をRuO2とする。
請求項(抜粋):
電極と、Pbを組成に含むペロブスカイト型強誘電体膜とで構成されるキャパシタであって、上記電極は、導電性を有するペロブスカイト型酸化物からなることを特徴とするキャパシタ。
IPC (2件):
H01G 4/12 427
, H01G 7/06
引用特許:
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