特許
J-GLOBAL ID：200903044412002663
X線分析方法および装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉本 修司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-193649
公開番号（公開出願番号）：特開平10-082749
出願日： 1997年07月18日
公開日（公表日）： 1998年03月31日
要約：
【要約】【課題】 主要成分の蛍光X線の強度と、散乱X線の強度との強度比による検量線を用いて、分析対象試料における主要成分の含有率を求めるX線分析方法および装置において、現実の標準試料を用いずに信頼性の高い補正係数が求められ、正確な分析ができる方法および装置を提供する。【解決手段】 標準試料13の組成を仮定して、分析対象試料3の代表的な組成を基準とする仮想検量線および仮想補正係数を求め、その仮想補正係数から、主要成分およびベース成分として指定した共存成分のみからなる組成を基準として補正する基準補正係数を求める。
請求項（抜粋）：
組成が既知で相異なる複数の標準試料に1次X線を照射して、標準試料中の主要成分から発生する蛍光X線の強度と、標準試料から発生する散乱X線の強度とを測定し、両強度の比を算出し、それら強度比と標準試料における主要成分の含有率との相関関係を検量線としてあらかじめ求めておき、分析対象試料に1次X線を照射して、分析対象試料中の主要成分から発生する蛍光X線の強度と、分析対象試料から発生する散乱X線の強度とを測定し、両強度の比を算出し、その強度比に前記検量線を適用して、分析対象試料における主要成分の含有率を求めるX線分析方法において、分析対象試料を、前記蛍光X線と散乱X線との強度比による検量線を求める主要成分と、共存成分とからなるものと仮定し、共存成分の主要成分に対する吸収に関する補正係数を、分析対象試料の組成を仮定して理論計算により算出し、前記分析対象試料から測定算出した強度比に、前記補正係数を用いた検量線を適用し、分析対象試料における主要成分の含有率を求めることを特徴とするX線分析方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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