共焦点光学系を用いた結晶欠陥検出方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：瀧野秀雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-271469
公開番号（公開出願番号）：特開平7-128246
出願日： 1993年10月29日
公開日（公表日）： 1995年05月19日
要約：

【要約】【目的】共焦点光学系を用いた結晶欠陥検出方法に関し、1次元方向に走査するだけで結晶全面の結晶欠陥を簡単に検出することができるとともに、ノイズ光を低減して解像度を上げることを目的とする。【構成】赤外線レーザービームBを結晶の側面から水平に入射し、このレーザービームの通過経路に沿って存在する結晶欠陥d1 〜d3 からの散乱光を結晶の上方に配置した対物レンズ4で集光して結像レンズ7に送るとともに、対物レンズと結像レンズの間であって対物レンズの焦点位置に位置して、赤外線の波長と同程度の溝幅Wからなるスリット6を備えた検出用アパーチャ5をそのスリットの長手方向がレーザービームと平行になるように配置し、該スリットを通ってセンサ上に結像される各結晶欠陥の回折像のそれぞれについて所定次数の回折光までその光強度を積算し、得られた光強度から各結晶欠陥を検出するように構成する。

請求項（抜粋）：

赤外線レーザービームを結晶の側面から水平に入射し、この水平に入射された赤外線レーザービームの通過経路に沿って存在する結晶欠陥からの散乱光を結晶の上方に配置した対物レンズで集光して結像レンズに送るとともに、前記対物レンズと結像レンズの間であって対物レンズの焦点位置に位置して、赤外線レーザ光の波長と同程度の溝幅からなるスリットを備えた検出用アパーチャをそのスリットの長手方向が前記赤外線レーザービームと平行になるように配置し、該スリットを通ってセンサ上に結像される各結晶欠陥の回折像のそれぞれについて所定次数の回折光までその光強度を積算し、該得られた光強度から赤外線レーザービームの通過経路に沿って存在する各結晶欠陥を検出するようにしたことを特徴とする共焦点光学系を用いた結晶欠陥検出方法。

IPC (2件)：

G01N 21/88 , H01L 21/66

引用特許：

出願人引用 (4件)

光学的検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-190043 出願人：ラトツクシステムエンジニアリング株式会社
特開昭62-119446
特開昭63-306413

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