特許
J-GLOBAL ID：200903044424746048
プローブカード検査方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
金山 敏彦 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-328935
公開番号（公開出願番号）：特開平7-005078
出願日： 1991年12月12日
公開日（公表日）： 1995年01月10日
要約：
【要約】【目的】 プローブカード36の測定針37の針先位置を迅速かつ高精度に検査する。【構成】 検査されるプローブカード36の針先先端パターン等のカードデータを装置に入力して記憶し、次に前記プローブカード36の測定針37に透明ガラス平板34を押し付け、前記カードデータに従って透明ガラス平板34側から光学顕微鏡38及びCCDカメラ39からなる針先観察装置を順次XYテーブルで移動させ、これによって複数の針先を順次追い掛け、各理想位置において針先画像を認識する。この画像認識が行われる都度、この針先画像はデータ処理されて画像101として詳細表示枠100と共にディスプレイ47上に画像表示される。
請求項（抜粋）：
検査されるプローブカードのカードデータを記憶する工程と、前記プローブカードの測定針にガラス平板を押し付け、前記カードデータに従ってガラス平板側から複数の針先を順次追い掛けて画像認識する工程と、前記認識された針先画像を判定基準枠と共に順次画像表示する工程と、を含むプローブカード検査方法。
IPC (3件)：
G01M 19/00
, G01R 1/073
, G01R 31/00
