特許
J-GLOBAL ID:200903044428766566
蒸気乾燥方法及び蒸気乾燥槽
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
高田 守
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-107444
公開番号(公開出願番号):特開平5-304132
出願日: 1992年04月27日
公開日(公表日): 1993年11月16日
要約:
【要約】【目的】 乾燥特性及び洗浄効果に優れた蒸気乾燥方法を提供する。【構成】 蒸気乾燥槽本体1内に設けたダクト12及び冷却コイル13からなる拡散ポンプによりIPA溶媒蒸気6を被洗浄ウェハ5の上部から下部へとあたるように供給し、溶媒蒸気6の凝縮結露がウェハ5の上部から下部へと起こるようにする。また、一度昇温した被洗浄ウェハ5を被洗浄物冷却室16の中に保持することにより冷却し、再び被洗浄ウェハ5表面で結露が起こるようにする。
請求項(抜粋):
被洗浄物を溶媒蒸気と接触させ、その表面で上記溶媒蒸気を凝縮結露させた後、上記被洗浄物を上記溶媒蒸気中から出し、上記表面の結露した溶媒を蒸発させ、上記被洗浄物を乾燥させる蒸気乾燥方法において、上記溶媒蒸気が上記被洗浄物上部から順に下部にあたるようにしたことを特徴とする蒸気乾燥方法。
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