特許

J-GLOBAL ID：200903044435877810

放射線生成装置、放射線生成方法、露光装置並びに露光方法

発明者： 春見 和之
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (4件)： 大塚 康徳 ,  高柳 司郎 ,  大塚 康弘 ,  木村 秀二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-199216
公開番号（公開出願番号）：特開2004-047517
出願日： 2002年07月08日
公開日（公表日）： 2004年02月12日
要約：

【課題】複数の異なる露光波長を発生させ、転写パターンに応じて露光波長を選択若しくは組み合わせることにより解像度の低下を抑える。【解決手段】ポイントソース光源を用いたプロキシミティーX線露光装置において、X線光源ユニット内部に配置された円盤形ターゲット14に、レーザー21が集光、照射され、プラズマを生成し、X線17を発生させる。円盤形ターゲット14は、その半径方向に等間隔で4分割された互いに異なる材質の4種類の第1波長発光部14a、第2波長発光部14b、第3波長発光部14c、第4波長発光部14dを有する。ターゲット14は、回転駆動機構によりパルス発光に同期して回転制御され、レーザー21の発光に合わせて回転角度を制御することで、ターゲット14の材質(種類)が第1波長発光部14a、第2波長発光部14b、第3波長発光部14c、第4波長発光部14dから選択可能となっている。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

複数の異なる波長の放射線を発生させる放射線発生手段と、 前記放射線発生部で発生させる放射線の波長を選択する波長選択手段とを具備することを特徴とする放射線生成装置。

IPC (2件)：

H01L21/027 ,  G03F7/20

FI (4件)：

H01L21/30 531S ,  G03F7/20 503 ,  G03F7/20 521 ,  H01L21/30 502G

Fターム (3件)：

5F046AA28 ,  5F046GA02 ,  5F046GC03