特許

J-GLOBAL ID：200903044449035456

インタ-ロック装置及び処理装置

発明者： 白川 英一
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 井上 俊夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-179610
公開番号（公開出願番号）：特開2002-010530
出願日： 2000年06月15日
公開日（公表日）： 2002年01月11日
要約：

【要約】【課題】 インターロック装置及びインターロック装置を備えた処理装置において省配線化を図ること。【解決手段】 ヒータと開閉器とを有する複数の直列回路を電源部と並列に接続し、前記直列回路の両端に、バイメタル及び発振器を有する直列回路(インターロック監視手段)を接続し、各直列回路ごとに前記発振器から出力される互いに異なる周波数信号を電力供給線に重畳するための混合器を設ける。バイメタルはヒータ近傍に設けられ、所定温度以上となるまでは閉じており、電力供給線に重畳された周波数信号は分別手段にて分別され、各周波数信号に対応するデジタル信号が制御部に出力されている。過熱状態となりバイメタルが開くと、制御部は認識できなくなった周波数信号を認識し、開閉器を開く制御を行い、ヒータへの電力供給が停止する。

請求項（抜粋）：

電源部と、この電源部から電力供給線を介して供給された電力により動作する制御対象と、監視対象が所定の状態にあるか否かを監視し、監視結果に対応するインタ-ロック用監視信号を出力するインタ-ロック用監視手段と、前記監視信号を前記電力供給線に重畳する重畳手段と、前記電力供給線から前記監視信号を分別する分別手段と、この分別手段から分別された監視信号が所定の状態から外れた情報に対応する信号であるときに前記制御対象への電力の供給を停止するための制御部と、を含むことを特徴とするインタ-ロック装置。

IPC (3件)：

H02J 13/00 ,  H02J 13/00 311 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

H02J 13/00 M ,  H02J 13/00 311 B ,  H01L 21/30 502 G ,  H01L 21/30 567

Fターム (9件)：

5F046KA04 ,  5F046KA10 ,  5G064AA09 ,  5G064AB07 ,  5G064AC13 ,  5G064CA10 ,  5G064CB11 ,  5G064CB16 ,  5G064DA05