特許

J-GLOBAL ID：200903044452167762

エタロン駆動機構

発明者： 井上 光二 ,  西畠 周二 ,  板橋 亨久
出願人/特許権者： 株式会社島津製作所
代理人 (1件)： 西岡 義明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-013784
公開番号（公開出願番号）：特開平6-241898
出願日： 1993年01月29日
公開日（公表日）： 1994年09月02日
要約：

【要約】【目的】 エタロンの駆動を行う目標駆動信号として、高周波成分を多く含む鋸歯状波または三角波等を用いた場合に生じる機械的振動を防止することにより、高精度の測定が可能となり、しかも光の周波数等の測定範囲を広くとることができるエタロン駆動機構を提供する。【構成】 歪ゲージ14によって検出され歪ゲージアンプ22によって増幅された変位信号と三角波等の目標駆動信号との比較によりエタロン制御部20から出力された所定の駆動信号は、ノッチフィルタ30によって、エタロン駆動機構に固有の機械的振動の周波数成分が除去されエタロン駆動部10に供給される。そして、この信号を受けたエタロン駆動部10の圧電素子ドライバ16は、圧電素子8を介してエタロンを駆動する。

請求項（抜粋）：

対向して配置された一対のエタロンと、前記エタロンの少なくとも一方を他方に対して対向方向に相対移動させるエタロン駆動部と、前記エタロン駆動部が前記エタロンに及ぼす変位を検出する検出部と、前記検出部からの変位信号を入力し目標駆動信号との比較により所定の駆動信号を供給するエタロン制御部とを供えたエタロン駆動機構において、前記駆動信号からエタロン駆動機構固有の機械的振動により定まる振動周波数を除去した信号を前記エタロン駆動部に供給するノッチフィルタとを設けたことを特長とするエタロン駆動機構。