特許
J-GLOBAL ID：200903044463622194
微動機構、走査型プローブ顕微鏡及び微小変位検出方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高崎 芳紘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-325241
公開番号（公開出願番号）：特開平7-234119
出願日： 1994年12月27日
公開日（公表日）： 1995年09月05日
要約：
【要約】【目的】 微小変位の検出系を備えた微動機構に関し、高い精度でX、Y、Z軸方向の微小変位座標を特定できる装置の提供を目的とする。【構成】 外壁に固定された固定端と外力によって微小移動を行う自由端とを有する可撓系と、前記自由端に外球面ミラーを設け前記外壁に固定した集束ビーム光源から放射された集束ビーム光を前記外球面ミラーで反射後4分割受光面形受光素子に入射せしめ光電変換して出力とする検出系とから成る。2系統の前記4分割受光器受光面の各領域で検出される起電力を差動増幅器に入力してその出力を演算装置で、X、Y、Z軸方向の微小変位を検出する。
請求項（抜粋）：
外壁に固設された固定端と外力の作用によって微動する移動端とを有する可撓系と、該可撓系の移動端に固設した球面ミラーと、球面ミラーの一点に集束ビーム光を照射する集束ビーム光源とその反射光を受光する単一受光面形又は多分割受光面形受光素子とより成り、該集束ビーム光源と受光素子とが上記外壁の所定位置に所定間隔をおいて設置されてなる光学検出系と、光学検出系の受光素子の単一受光面からの検出信号又は多分割受光面相互の検出信号から上記可撓系の移動変位を算出する手段と、より成る微動機構。
IPC (4件)：
G01B 11/30 102
, G01B 21/30
, G01N 37/00
, G05D 3/00
