特許
J-GLOBAL ID：200903044475564599
離型性成膜用基板およびペリクル膜の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山本 亮一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-031345
公開番号（公開出願番号）：特開平6-222551
出願日： 1993年01月27日
公開日（公表日）： 1994年08月12日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 本発明はこの上に成膜された膜体を容易に剥離できるようにした離型性成膜用基板およびこの基板を使用して傷やしわのないペリクル膜を製造するペリクル膜の製造方法の提供を目的とするものである。【構成】 本発明の離型性成膜用基板は、その表面を非晶質フッ素樹脂でコーティングしてなることを特徴とするものであり、このペリクル膜の製造方法はこのように処理された離型性成膜用基板を用いてここにペリクル膜を成膜し、剥離することを特徴とするものである。
請求項（抜粋）：
表面を非晶質フッ素樹脂でコーティングしてなることを特徴とする離型性成膜用基板。
IPC (3件)：
G03F 1/14
, B29C 41/12
, H01L 21/027
