特許

J-GLOBAL ID：200903044475926830

多重直径を有するファイバープローブ装置

発明者： ハーシェル マクリーン マーチマン
出願人/特許権者： エイ・ティ・アンド・ティ・コーポレーション
代理人 (1件)： 岡部 正夫 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-315400
公開番号（公開出願番号）：特開平7-209307
出願日： 1994年12月20日
公開日（公表日）： 1995年08月11日
要約：

【要約】【目的】 本発明は、表面計測目的に使用できるプローブ装置に関する。【構成】 この装置は、中間の平行部分で終わる第1の中間テーパー部分で終わって成る比較的太い上部の円柱状部分を有するファイバーで構成される。中間の円柱状部分は、最下部の完全なる円柱状部分で終わる第2の中間テーパー部分で終わって成る。最上部の部分と中間の円柱状部分と、最下部の円柱状部分とは、それぞれ直径が単調減少してる。

請求項（抜粋）：

第1のテーパー部分(22)で下端が終わって成る比較的太い上部の部分(23)を有するファイバーセグメントをもって構成されるプローブ装置において、前記第1のテーパー部分が、中間の円柱状部分(29)で終わって成り、この中間の円柱状部分の下端が、最下部の円柱状部分(30)で終わる第2のテーパー部分で終わって成り、前記最下部の円柱状部分が、ほぼ0.01μm〜150μmの範囲の最大幅(w)を有し、この最下部の円柱状部分の下端が、その軸方向に対して直角を成すほぼ平面状の端面で終わって成り、前記中間の円柱状部分の高さと最大幅との比が、ほぼ1〜100の範囲にあることを特徴とするプローブ装置。

IPC (2件)：

G01N 37/00 ,  C23F 1/16