特許
J-GLOBAL ID：200903044476422909
マルチディザー方式補償光学装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
秋本 正実
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-289350
公開番号（公開出願番号）：特開平7-140403
出願日： 1993年11月18日
公開日（公表日）： 1995年06月02日
要約：
【要約】【目的】 光波の光学的な波面歪を補正するマルチディザー方式補償光学装置の高性能化,小型化,高速化を図る。【構成】 光信号1をA/D変換器2でディジタル信号3に変換し、複数のディジタル信号処理部4a〜4nにより光信号1に含まれる複数の位相変調信号を夫々検出し、各ディジタル信号処理部4a〜4nが自己に対応するアクチュエータ用の指令電圧5a〜5nを演算し、駆動電源6に出力する。駆動電源6から形状可変鏡の各アクチュエータに駆動電圧7を出力する。ディジタル信号処理部4で位相変調信号を検出する構成ため、アナログ回路による検出法で生じる回路素子の経年変化による性能劣化が低減され、複数のディジタル信号処理部4a〜4nを設け並列的に処理するため、処理の高速化が図れる。
請求項（抜粋）：
入射光を反射して出射する反射面と該反射面の形状を変化させる複数のアクチュエータとを有する形状可変鏡と、前記反射面で反射した光波を取り込み集光した焦点強度から波形歪みを検出し該波形歪みを補正する前記各アクチュエータの変位量を求めると共に各アクチュエータの各変位位置で各アクチュエータを夫々異なる周波数で振動させ反射光に位相変調を与える波面制御装置とを備えるマルチディザー方式補償光学装置において、前記焦点強度の信号をディジタル値に変換するアナログディジタル変換手段と、該ディジタル値を取り込み位相変調信号を検出して前記各アクチュエータの変位量指令値を決定する複数の並列処理するディジタル信号処理部とを前記波面制御装置に設けたことを特徴とするマルチディザー方式補償光学装置。
IPC (2件)：
引用特許：
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